发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR WAFERVORBEREITUNG |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE60128338(T2) |
申请公布日期 |
2008.01.10 |
申请号 |
DE2001628338T |
申请日期 |
2001.03.22 |
申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
FROST, DAVID T.;JONES, OLIVER DAVID |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/677;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|