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发明名称
Kontakt-Temperatursensor mit thermischer Entkopplung zwischen Sensorkopf und Hitzeschild der elektrischen Zuleitungen
摘要
申请公布号
DE60034496(T2)
申请公布日期
2008.01.10
申请号
DE20006034496T
申请日期
2000.01.31
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES INC.
发明人
BURKE, JOHN WILLIAM;CARDOSO, ANDRE GIL;MCGINNITY, JOSEPH GERARD
分类号
G01K1/14;G01K7/00;G01K1/16;G01K7/02
主分类号
G01K1/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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