发明名称 | 可靠的相对接触体结构及其制备技术 | ||
摘要 | 具有多个接触表面的开关结构,所述接触表面可以互相接触。接触表面中的一个或多个可以用弹性材料,比如金刚石,来涂覆。 | ||
申请公布号 | CN100361253C | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
申请号 | CN03824828.X | 申请日期 | 2003.08.28 |
申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | 马青;克拉马哈提·拉维;瓦卢里·拉奥 |
分类号 | H01H59/00(2006.01) | 主分类号 | H01H59/00(2006.01) |
代理机构 | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人 | 严慎 |
主权项 | 1.一种半导体接触体装置,包括:基底结构;在所述基底结构上形成的接触体区域;在所述接触体区域上形成的保护涂覆;在所述保护涂覆和所述接触体区域之间形成的金属附着层;在所述基底结构上形成的致动装置;在所述基底结构上形成的臂结构;以及在所述臂结构上形成第二接触体区域,并且所述第二接触体区域与所述接触体区域相对。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |