| 发明名称 | 一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用，用于将所述光学系统物平面内的图形成像到所述光学系统像平面内。所述投影光学系统从物面沿其光轴方向包括六个镜组；第一、三、五和六镜组具有正光焦度，第二、四镜组具有负光焦度；孔径光阑位置设置于第五镜组和第六镜组之间；在像面和最靠近像面的透镜表面之间充满了高折射率的液体介质；且所述每一透镜的光学表面均为球面或平面。本发明不仅实现了大数值孔径、高分辨率和较好的成像质量；而且增大了物方工作距，却并未引入非球面，降低了光学加工、检测和装校的难度，同时也有效地降低了制造成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101101450A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200710043872.6 | 申请日期 | 2007.07.17 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 蔡燕民 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G02B13/24(2006.01);G02B9/62(2006.01);G02B1/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种全折射浸液式投影光学系统，从物面沿其光轴方向包括六个镜组，其特征在于：第一镜组(G1)具有正光焦度、第二镜组(G2)具有负光焦度、第三镜组(G3)具有正光焦度、第四镜组(G4)具有负光焦度、第五镜组(G5)具有正光焦度、第六镜组(G6)具有正光焦度，孔径光阑位置设置于第五镜组(G5)和第六镜组(G6)之间，在像面和最靠近像面的透镜表面之间充满了高折射率的液体介质，且所述每一透镜的光学表面均为球面或平面。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||