| 发明名称 | 光斑能量重心矫正模块及其测量方法、装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光斑能量重心矫正模块和使用该光斑能量重心矫正模块的测量方法和装置。本发明的光斑能量重心矫正模块包括将光束分为若干分光束的分束器，倒转分光束的倒像器。利用本发明模块可以消除某些位置测量系统中由于被测对象局部反射率不均等引起探测光斑内部的能量重心的位置变化而带来的测量误差，从而提高该位置测量系统的精度、重复性、对被测对象的适应能力和线性度。 | ||
| 申请公布号 | CN101101448A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200710042418.9 | 申请日期 | 2007.06.22 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 关俊 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种光斑能量重心矫正模块，包括：分束器，将探测光束分为若干分光束；倒像器，倒转分光束。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||