喷墨淀积装置和方法

摘要

在喷墨淀积装置中，使打印头相对于衬底横向平移并测量打印头相对于第一对准标记的偏差。然后使打印头相对于衬底纵向平移并测量打印头相对于另一对准标记的偏差。从测量的偏差产生用于所述装置的平移台控制单元的校正系数。

主权项

1.一种对在用于支持拟打印的衬底的平移台台板和喷墨打印头之间的位置误差进行校正的方法，所述方法包括：将打印头定位在第一位置，与衬底上的第一对准标记对准；在所述衬底的横向x方向相对于所述台板从所述第一位置到第二位置平移所述打印头；在横向上测量所述第二位置和在所述衬底上的一个离开所述第一位置为第一预定距离的第二对准标记之间的第一偏差；在所述台板的纵向y方向相对于所述台板从所述第二位置到第一位置平移回所述打印头；在一个第二方向相对于所述台板从所述第一位置到一个第三位置平移所述打印头；在纵向上测量所述第三位置与离开所述第一位置为第二预定距离在所述衬底上的一个第三对准标记之间的第二偏差；以及从所述横向偏差和/或纵向偏差产生至少一个校正系数，用于控制所述平移台的运动。