发明名称 |
步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线系统 |
摘要 |
一种步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线,包括非复用的控制信号线、地址信号线和数据信号线。本发明还提供了用于实现上述总线技术的步进扫描投影光刻机的同步控制总线平台。该平台由一个总线控制器、多个位置数据采集卡、多个运动控制卡组成,它基于同步广播、地址循环队列和计数器翻转机制。在控制系统工作过程中,总线控制器一方面通过连续的循环地址广播的方式来同步各总线从设备;另一方面,在与某次循环节拍相应的设定总线周期,总线控制器还可以触发外部同步对象的同步操作。同步广播总线的所有从设备都按照相同的时间基准并行工作。这样就保证了整个控制系统能够严格的同步工作,完成同步数据传输、同步数据处理和同步实时控制功能。 |
申请公布号 |
CN100361113C |
申请公布日期 |
2008.01.09 |
申请号 |
CN200510023859.5 |
申请日期 |
2005.02.05 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
刘世元;陈勇辉;韦学志;池蜂 |
分类号 |
G06F13/42(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G06F13/42(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
1、一种步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线系统,包括同步广播总线、一块同步总线控制卡、多块位置数据采集卡和多块运动控制卡,所述的同步广播总线由控制信号线、地址信号线和数据信号线组成,同步总线控制卡、位置数据采集卡和运动控制卡分别与控制信号线、地址信号线和数据信号线都连接上,其特征在于:所述的同步总线控制卡通过地址序列在非复用的所述同步广播总线上广播数据,被寻址的一块或多块位置数据采集卡和/或一块或多块运动控制卡同时响应,运动控制卡在同步总线控制卡的控制下从同步广播总线上读取来自位置采集卡的位置数据;完成数据传输之后,同步总线控制卡在同步广播总线上发布同步状态命令,使运动控制卡同步进行数据处理和运动控制。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张东路1525号 |