| 发明名称 | 戊硼烷（9）的储存和递送 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种流体储存和分配系统(100)，其包括在液氮浴(128)中的用于储存处于低于大气压的含戊硼烷(9)的流体的容器(126)。该戊硼烷可以由液体或合成源(124)供给，氮气从阀门(120)供给，该阀门可以由气体调节器(R-1&R-2)控制。该流体储存和分配系统可以借助于各个阀门(AV-1～AV-16&MV-1～MV-4)可联通地连接至半导体或液晶生产设施，由此，戊硼烷(9)被用作商用硼氢化物如乙硼烷的替代物。这种系统可以包括排气泵(130)、净化装置(140)和三通阀(162)，以取样检测此处输出的戊硼烷(9)的浓度。 | ||
| 申请公布号 | CN101103135A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200580046982.7 | 申请日期 | 2005.11.23 |
| 申请人 | 高级技术材料公司 | 发明人 | 卡尔·W·奥兰德;乔斯·I·阿尔诺 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C16/38(2006.01);F17C7/04(2006.01) | 主分类号 | C23C14/48(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲;李丙林 |
| 主权项 | 1.一种将来自源材料的硼沉积在基片之上或之中的方法，包括使用包括戊硼烷(9)的含硼材料作为所述源材料。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||