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发明名称 POLISHING PAD
摘要
申请公布号 EP1618991(B1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20050077315 申请日期 2001.05.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HANAWA, HIROJI;JOHANSSON, NILS;SWEDEK, BOGUSLAW A.;BIRANG, MANOOCHER;REDEKER, FRITZ C.;BAJAJ, RAJEEV
分类号 B24B37/013;B24B37/22;B24B49/02;B24B49/12 主分类号 B24B37/013
代理机构 代理人
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