发明名称 |
SiGe层的热氧化及其应用 |
摘要 |
本发明涉及氧化SiGe层的表面区域的方法,该方法包括对SiGe层进行氧化热处理以氧化所述表面区域,其特征在于包括两个阶段:第一阶段,氧化热处理,所述氧化热处理直接在所述SiGe层上进行,从而得到氧化区域,所述氧化区域具有足以形成覆层氧化物的足够厚度,所述覆层氧化物可在随后的第二阶段中保护下方的SiGe不发生点蚀,并且所述氧化区域的厚度足够薄,以保持氧化的表面区域的厚度在阈值厚度范围之下,所述阈值范围对应着SiGe层内的位错的产生,和第二阶段,在惰性气氛中高温退火,所述高温退火在所述第一阶段之后在所述SiGe层上进行,所述SiGe层覆盖有在所述第一阶段中产生的所述氧化区域,所述高温退火使Ge从所述富Ge区域扩散进入所述SiGe层的下部。 |
申请公布号 |
CN101103446A |
申请公布日期 |
2008.01.09 |
申请号 |
CN200580046561.4 |
申请日期 |
2005.02.24 |
申请人 |
硅绝缘体技术有限公司 |
发明人 |
尼古拉斯·达瓦尔 |
分类号 |
H01L21/316(2006.01);H01L21/762(2006.01);H01L21/3105(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/316(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁香兰;李建忠 |
主权项 |
1.一种氧化SiGe层的表面区域的方法,所述方法包括在氧化所述表面区域的氧化气氛下SiGe层的氧化热处理,其特征在于,所述方法包括两个阶段:·第一阶段,氧化热处理,所述氧化热处理直接在所述SiGe层上进行,进行所述氧化热处理以得到如下氧化区域:◇所述氧化区域具有足以形成覆层氧化物的足够厚度,所述覆层氧化物可在随后的第二阶段中保护下方的SiGe不发生点蚀,并且◇所述氧化区域的厚度足够薄,以保持氧化的表面区域的厚度在阈值厚度范围之下,所述阈值范围是与所述SiGe层内的位错的产生对应的阈值范围,所述位错是由于紧邻所述氧化的表面区域下方的所述SiGe层内的富Ge区域与所述SiGe层的下部之间的晶格参数不匹配而产生的位错,和·第二阶段,在惰性气氛中高温退火,所述高温退火在所述第一阶段之后在所述SiGe层上进行,◇所述SiGe层覆盖有在所述第一阶段中产生的所述氧化区域,◇所述高温退火使Ge从所述富Ge区域扩散进入所述SiGe层的下部。 |
地址 |
法国伯涅尼 |