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发明名称 APPARATUS FOR CLEANING OF CIRCUIT SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1875490(A1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20050741208 申请日期 2005.04.20
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 FARKAS, JANOS;KORDIC, SRDJAN;PETITDIDIER, SEBASTIEN;COOPER, KEVIN, E.;VAN-HASSEL, JAN
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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