发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SELECTIVE DEPOSITION OF MATERIALS TO SURFACES AND SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1875492(A2) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20060749105 申请日期 2006.03.30
申请人 BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 发明人 YONKER, CLEMENT, R.;MATSON, DEAN, W.;GASPAR, DANIEL, J.;DEVERMAN, GEORGE, S.
分类号 C23C18/00 主分类号 C23C18/00
代理机构 代理人
主权项
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