| 发明名称 | 一种光刻机硅片台双台交换系统 | ||
| 摘要 | 一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在一基台上，在基台边缘设置有4个沿X向和Y向运动的双自由度驱动单元，两个硅片台位于4个双自由度驱动单元围成的空间内，并通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个双自由度驱动单元包括上、下直线导轨和导套，上直线导轨安装在导套中；两个双自由度驱动单元相互配合驱动硅片台实现X向或Y向的运动。本发明避免了采用对接导轨所带来的要求极高的导轨对接精度，以及需增加对接辅助装置等缺陷，大大简化了系统结构，二是该系统双台交换采用4个完全相同的两自由度驱动单元实现，系统的复杂性大大降低。 | ||
| 申请公布号 | CN101101454A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200710119275.7 | 申请日期 | 2007.07.19 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 朱煜;张鸣;汪劲松;李广;徐登峰;尹文生;段广洪;贾松涛 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位(6)的硅片台(10)和运行于预处理工位(7)的硅片台(12)，所述的两个硅片台设置在一基台(1)上，其特征在于：在所述的基台边缘设置有4个沿X向和Y向运动的双自由度驱动单元，两个硅片台位于4个双自由度驱动单元围成的空间内，并通过气浮轴承悬浮在基台上表面；所述的每个双自由度驱动单元包括上直线导轨(40)、下直线导轨(30)和导套(35)，上直线导轨和下直线导轨呈十字安装在导套中；所述的双自由度驱动单元与硅片台之间通过永磁预载或/和真空预载的气浮轴承(80)连接；硅片台实现X向或Y向的运动是通过一个双自由度驱动单元的上直线导轨对硅片台施加推力或拉力，另一个相邻驱动单元的下直线导轨跟随硅片台做等速同向同步运动实现。 | ||
| 地址 | 100084北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 | ||