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发明名称 DISSOLUTION RATE MODIFIERS FOR PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP1597627(A4) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20040713359 申请日期 2004.02.20
申请人 PROMERUS LLC 发明人 RHODES, LARRY, F.;SEGER, LARRY;GOODALL, BRIAN, L.;MCINTOSH, LESTER, H., III;DUFF, ROBERT, J.
分类号 G03C1/76;G03F;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/085;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03C1/76
代理机构 代理人
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