发明名称 AQUEOUS CERIUM OXIDE DISPERSION
摘要
申请公布号 EP1874883(A1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20060708690 申请日期 2006.03.08
申请人 DEGUSSA GMBH 发明人 KROELL, MICHAEL;HEBERER, STEFAN;KATUSIC, STIPAN;KRAEMER, MICHAEL;LORTZ, WOLFGANG
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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