发明名称 固定待抛光元件的吸附性垫片和其制造方法
摘要 本发明涉及一种固定一待抛光元件的吸附性垫片,其包括一底材和一表层。所述底材具有一表面。所述表层位于所述底材的表面上,所述表层的内部无孔洞结构,且所述表层具复数个贯穿孔。藉此,当所述待抛光元件与所述表层接触时,其间的空气可以经由所述贯穿孔排到所述底材而顺利排出,而不会产生包空气的现象,可提高所述待抛光元件与所述吸附性垫片间的吸附力,增加所述待抛光元件的抛光效果。
申请公布号 CN101100044A 申请公布日期 2008.01.09
申请号 CN200610090174.7 申请日期 2006.07.03
申请人 三芳化学工业股份有限公司 发明人 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥
分类号 B24B29/02(2006.01) 主分类号 B24B29/02(2006.01)
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人 刘国伟;王允方
主权项 1.一种固定待抛光元件的吸附性垫片,包括:一底材,具有一表面;和一表层,位于所述底材的表面上,所述表层的内部无孔洞结构,且所述表层具复数个贯穿孔。
地址 中国台湾高雄市