发明名称 | 固定待抛光元件的吸附性垫片和其制造方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种固定一待抛光元件的吸附性垫片,其包括一底材和一表层。所述底材具有一表面。所述表层位于所述底材的表面上,所述表层的内部无孔洞结构,且所述表层具复数个贯穿孔。藉此,当所述待抛光元件与所述表层接触时,其间的空气可以经由所述贯穿孔排到所述底材而顺利排出,而不会产生包空气的现象,可提高所述待抛光元件与所述吸附性垫片间的吸附力,增加所述待抛光元件的抛光效果。 | ||
申请公布号 | CN101100044A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
申请号 | CN200610090174.7 | 申请日期 | 2006.07.03 |
申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥 |
分类号 | B24B29/02(2006.01) | 主分类号 | B24B29/02(2006.01) |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国伟;王允方 |
主权项 | 1.一种固定待抛光元件的吸附性垫片,包括:一底材,具有一表面;和一表层,位于所述底材的表面上,所述表层的内部无孔洞结构,且所述表层具复数个贯穿孔。 | ||
地址 | 中国台湾高雄市 |