| 发明名称 | 用于制造平板显示器的设备 | ||
| 摘要 | 一种平板显示器(FPD)制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。 | ||
| 申请公布号 | CN101101863A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200710138451.1 | 申请日期 | 2005.02.25 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;曹生贤;尹炳五;金敬勋;郑洪基 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);G02F1/1333(2006.01);H01J9/00(2006.01);G09F9/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蔡洪贵 |
| 主权项 | 1.一种平板显示器制造设备，其包括装载锁定室、馈送室和处理室，用于制造平板显示器，其中装载锁定室包括：一真空室壳，在其中可建立真空；一开口，其通过真空室壳的外围壁而形成以允许基板通过开口用于将基板装载到真空室壳中和从真空室壳卸载基板；一门阀，其适合于打开/关闭开口；以及末端执行器容纳凹槽，其在真空室壳的底壁处形成以分别容纳安装在装载锁定室外部的基板馈送自动机的末端执行器，每个末端执行器容纳凹槽都具有预定深度以允许一个相关的末端执行器在末端执行器容纳凹槽中竖直移动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||