发明名称 提高GaN基pin结构性能的紫外探测器及制作方法
摘要 一种提高GaN基pin结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在欧姆接触层上面的中间;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接触层制作在有源层上;P型欧姆接触电极,该P型欧姆接触电极为点状结构或环形结构,制作在P型欧姆接触层上面;一N型欧姆接触电极,该欧姆电极为点状结构或环形结构,制作在N型欧姆接触层上面。
申请公布号 CN101101934A 申请公布日期 2008.01.09
申请号 CN200610111261.6 申请日期 2006.08.17
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 赵德刚;杨辉;梁骏吾;李向阳;龚海梅
分类号 H01L31/105(2006.01);H01L31/0224(2006.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/105(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种提高GaN基pin结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在欧姆接触层上面的中间;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接触层制作在有源层上;P型欧姆接触电极,该P型欧姆接触电极为点状结构或环形结构,制作在P型欧姆接触层上面;一N型欧姆接触电极,该欧姆电极为点状结构或环形结构,制作在N型欧姆接触层上面。
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