发明名称 |
提高GaN基pin结构性能的紫外探测器及制作方法 |
摘要 |
一种提高GaN基pin结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在欧姆接触层上面的中间;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接触层制作在有源层上;P型欧姆接触电极,该P型欧姆接触电极为点状结构或环形结构,制作在P型欧姆接触层上面;一N型欧姆接触电极,该欧姆电极为点状结构或环形结构,制作在N型欧姆接触层上面。 |
申请公布号 |
CN101101934A |
申请公布日期 |
2008.01.09 |
申请号 |
CN200610111261.6 |
申请日期 |
2006.08.17 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
赵德刚;杨辉;梁骏吾;李向阳;龚海梅 |
分类号 |
H01L31/105(2006.01);H01L31/0224(2006.01);H01L31/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/105(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种提高GaN基pin结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在欧姆接触层上面的中间;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接触层制作在有源层上;P型欧姆接触电极,该P型欧姆接触电极为点状结构或环形结构,制作在P型欧姆接触层上面;一N型欧姆接触电极,该欧姆电极为点状结构或环形结构,制作在N型欧姆接触层上面。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |