发明名称 用于制造平板显示器的设备
摘要 一种平板显示器(FPD)制造设备,其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。
申请公布号 CN101101865A 申请公布日期 2008.01.09
申请号 CN200710138453.0 申请日期 2005.02.25
申请人 爱德牌工程有限公司 发明人 李荣钟;崔浚泳;曹生贤;尹炳五;金敬勋;郑洪基
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01);G02F1/1333(2006.01);H01J9/00(2006.01);G09F9/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 蔡洪贵
主权项 1.一种平板显示器制造设备,其包括装载锁定室、馈送室和处理室,其中馈送室包括:一馈送自动机,其包括一设置在馈送室下部的馈送臂、和一耦合到馈送臂下端并坐放在馈送室底部上的驱动器;一竖直驱动器,其设置在馈送室下面并适合于将馈送自动机提升到一门的高度;一驱动器通路,其形成于馈送室的一侧以允许驱动器通过驱动器通路;以及所述的门安装于馈送室以打开/关闭驱动器通路。
地址 韩国京畿道