发明名称 |
用于制造平板显示器的设备 |
摘要 |
一种平板显示器(FPD)制造设备,其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。 |
申请公布号 |
CN101101865A |
申请公布日期 |
2008.01.09 |
申请号 |
CN200710138453.0 |
申请日期 |
2005.02.25 |
申请人 |
爱德牌工程有限公司 |
发明人 |
李荣钟;崔浚泳;曹生贤;尹炳五;金敬勋;郑洪基 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01);G02F1/1333(2006.01);H01J9/00(2006.01);G09F9/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
蔡洪贵 |
主权项 |
1.一种平板显示器制造设备,其包括装载锁定室、馈送室和处理室,其中馈送室包括:一馈送自动机,其包括一设置在馈送室下部的馈送臂、和一耦合到馈送臂下端并坐放在馈送室底部上的驱动器;一竖直驱动器,其设置在馈送室下面并适合于将馈送自动机提升到一门的高度;一驱动器通路,其形成于馈送室的一侧以允许驱动器通过驱动器通路;以及所述的门安装于馈送室以打开/关闭驱动器通路。 |
地址 |
韩国京畿道 |