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发明名称 Erosion profile compensated magnetron with moving magnet assembly
摘要
申请公布号 EP1063679(B1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP19990870127 申请日期 1999.06.21
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS NV. 发明人 DE BOSSCHER, WILMERT;VAN HOVE, STEVEN AUGUST
分类号 B01J19/08;H01J37/34;C23C14/35 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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