半导体检查装置及半导体集成电路的检查方法

摘要

提出一种半导体检查装置及半导体集成电路的检查方法，通过继电器进行与各半导体集成电路11a相对应的PTC元件22a与电压供给线25a的连接，依次使继电器接通，对电压供给线25a供给高电压，对每个PTC元件22a依次供给高电压，通过这样预先能够断开与DC不合格的半导体集成电路11a连接的PTC元件22a，在该状态下，集中实施老化，从而在集中老化时，能够对于半导体集成电路11a的DC不合格确实使PTC元件22a断开，从而能够提高老化的可靠性。

主权项

1.一种半导体检查装置，对具有输入输出信号或电源电压或接地电压的多个电极的、晶片上形成的多个半导体集成电路，集中进行老化，其特征在于，具有：与全部所述半导体集成电路具备的全部所述电极的各电极连接、进行检查的多个探头；对所述各半导体集成电路具备的信号用的所述电极，通过所述探头输入输出所述信号用的多条信号布线；对所述各半导体集成电路具备的全部的电源用的所述电极，通过所述探头供给所述电源电压的电源布线；对所述各半导体集成电路具备的全部的接地用的所述电极，通过所述探头供给所述接地电压的接地布线；插入在所述电源布线与全部或至少一个电源用的所述电极之间的继电器；以及插入在所述继电器与所述电源用的电极之间的PTC元件，对每个所述半导体集成电路依次使所述继电器为连接状态，施加高电压，在使确认是不合格品的全部所述半导体集成电路的所述PTC元件断开的状态下，进行所述老化。