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发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHE COPOLYMERE, FOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN UND ZWEISCHICHTRESISTSYSTEME FÜR DEN TIEFEN UV-BEREICH
摘要
申请公布号 DE60034488(T2) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 DE20006034488T 申请日期 2000.08.11
申请人 FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS USA INC. 发明人 FOSTER, PATRICK;BIAFORE, JOHN JOSEPH;SPAZIANO, GREGORY DOMENIC
分类号 G03F7/004;G03F7/039;C08F220/12;C08F222/06;C08F230/08;G03F7/075;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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