| 发明名称 |
Verfahren zur Isolierung von Leitungen unter Verwendung von Materialien mit niedriger dielektrischer Konstante und damit hergestellte Strukturen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69535488(T2) |
申请公布日期 |
2008.01.03 |
| 申请号 |
DE1995635488T |
申请日期 |
1995.08.29 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
JENG, SHIN-PUU;HAVEMANN, ROBERT H. |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L23/52;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/522;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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