Strömungssensorelement und dessen Selbstreinigung

摘要

Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehreren Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platin-Dünn- oder Dickfilm-Widerstände auf keramischem Untergrund auf. Zur Selbstreinigung einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors, bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement in ein Trägerelement gesteckt sind, weist das Temperaturmesselement einen Platin-Dünnfilm-Widerstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung auf und wird mit einem zusätzlichen Platin-Dünnfilm-Widerstand geheizt. Zur Herstellung einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors aus Schichtwiderständen und einem Deckel oder einem Hohlkörper werden zwei um ein bis zwei Größenordnungen unterschiedliche Schichtwiderstände in Öffnungen des Deckels oder Hohlkörpers gesteckt und in den Öffnungen befestigt.