| 发明名称 |
Verfahren zum Betreiben eines Suszeptors für Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60037188(D1) |
申请公布日期 |
2008.01.03 |
| 申请号 |
DE20006037188 |
申请日期 |
2000.08.29 |
| 申请人 |
QIMONDA DRESDEN GMBH & CO. OHG |
发明人 |
STORBECK, OLAF |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/683;H01L21/205;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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