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发明名称 Thermische PVD Vorrichtung mit abnehmbarer(n) Dampfquelle(n)
摘要
申请公布号 DE60317600(D1) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 DE20036017600 申请日期 2003.04.14
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY 发明人 VAN SLYKE, STEVEN A.
分类号 C23C14/24;H05B33/10;C23C14/12;C23C14/26;C23C14/56;H01L51/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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