发明名称 Solution and process for etching indium dots
摘要
申请公布号 US2970044(A) 申请公布日期 1961.01.31
申请号 US19570705826 申请日期 1957.12.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 OSTAPKOVICH PETER L.
分类号 C23F1/30;C23G1/10;H01L21/00 主分类号 C23F1/30
代理机构 代理人
主权项
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