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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Bodenelektrode in einem piezoelektrischen Bauelement
摘要
申请公布号 DE102006019505(B4) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 DE200610019505 申请日期 2006.04.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FATTINGER, GERNOT;DIEFENBECK, KLAUS
分类号 H03H3/02 主分类号 H03H3/02
代理机构 代理人
主权项
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