发明名称 Method for making contact-hole of semiconductor chip
摘要
申请公布号 KR100791326(B1) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 KR20040069874 申请日期 2004.09.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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