发明名称 Lithographisches Gerät und zugehöriges Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60223630(D1) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 DE20026023630 申请日期 2002.07.12
申请人 CARL ZEISS SMT AG;ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 LOOPSTRA, ERIK ROELOF;FRANKEN, DOMINICUS JACOBUS PETRUS ADRIANUS;SMITS, JOSEPHUS JACOBUS;VAN DIJSSELDONK, ANTONIUS JOHANNES JOSEPHUS;MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA;HOF, ALBRECHT;MAUL, GUENTER;MUHLBEYER, MICHAEL;MEHLKOPP, KLAUS
分类号 G02B7/00;G02B7/182;G02B7/02;G02B27/62;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01L21/027 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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