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发明名称 Elektronenstrahl-Lithographysystem mit Ziel-Verriegelungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60034625(T2) 申请公布日期 2008.01.03
申请号 DE2000634625T 申请日期 2000.03.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 HARTLEY, JOHN G.;KENDALL, RODNEY A.
分类号 G03F7/20;H01J37/30;G01J1/00;G03F9/02;H01J37/141;H01J37/21;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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