液晶显示器件的制造方法

摘要

本发明公开了一种液晶显示器件的制造方法，包括：提供具有像素部的第一基板；在其中形成有栅极的第一基板上顺序层叠栅绝缘层、半导体层和第一导电层；用半色调掩模在第一导电层上形成第一PR图案，该第一PR图案在将要形成晶体管的沟道区域上构图为相对较薄；用第一PR图案对第一导电层进行构图；通过在第一PR图案上进行第一灰化工序来形成与第一导电层外围对齐的第二PR图案；使用第二PR图案对半导体层进行构图；使用第二PR图案形成源极/漏极；在第一基板上形成钝化层和像素电极；将第一基板粘附到第二基板；在第一基板和第二基板之间形成液晶层。

主权项

1.一种液晶显示器件的制造方法，包括：提供具有像素部的第一基板；在其中构图有栅极的第一基板上顺序层叠栅绝缘层、半导体层、导电层和光刻胶薄膜；通过使用半色调掩模将光刻胶薄膜构图来形成光刻胶薄膜图案；使用光刻胶薄膜图案作为掩模将导电层和半导体层构图；通过第一灰化工序部分地去除光刻胶薄膜图案；通过使用剩余的光刻胶薄膜图案作为掩模将导电层构图以形成源极/漏极；在第一基板上形成钝化层和像素电极；将第一基板粘附到第二基板；以及在第一基板和第二基板之间形成液晶层。