| 发明名称 | 一种防冻型抛光液及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种防冻型抛光液，其特征在于它是由SiO<SUB>2</SUB>溶胶、有机碱、表面活性剂、防冻剂和水混合组成，其中SiO<SUB>2</SUB>溶胶占25％～45％，有机碱占5％～10％，表面活性剂占1％～3％，防冻剂占3～10％，水占32％～66％。其制备方法为取料、过滤、搅拌、再次过滤、产品分装、产品检测。本发明的优越性在于：SiO<SUB>2</SUB>水溶胶抛光液中加入了自主研发的防冻液，可以在零下8℃保持液体状态不冻结而零下11℃以下逐渐冻结，但解冻后SiO<SUB>2</SUB>水溶胶抛光液不凝胶，仍可以正常使用；防冻型抛光液中选用的有机碱能够提高均匀腐蚀的性质，保证抛光的一致性；选用的表面活性剂和渗透剂具有水溶性好、渗透力强、无污染等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101096577A | 申请公布日期 | 2008.01.02 |
| 申请号 | CN200610014592.8 | 申请日期 | 2006.06.30 |
| 申请人 | 天津晶岭电子材料科技有限公司 | 发明人 | 仲跻和;李家荣;周云昌;吴亮 |
| 分类号 | C09G1/18(2006.01) | 主分类号 | C09G1/18(2006.01) |
| 代理机构 | 国嘉律师事务所 | 代理人 | 卢枫 |
| 主权项 | 1、一种防冻型抛光液，其特征在于它是由SiO2溶胶、有机碱、表面活性剂、防冻剂和水混合组成，其中SiO2溶胶占25％～45％，有机碱占5％～10％，表面活性剂占1％～3％，防冻剂占3～10％，水占32％～66％。 | ||
| 地址 | 300385天津市天津开发区微电子工业区中晓园2-B号 | ||