| 发明名称 | 表面波激发等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 一种表面波激发等离子体处理装置，其可一直维持以大面积生成均匀的等离子体。此表面波激发等离子体处理装置的等离子源(10)包括：微波产生装置、微波导波管(12)、以及介电体块(13)，等离子源(20)亦同样包括：微波产生装置、微波导波管(22)、以及介电体块(23)。于腔室(1)的盖体(3)上，并列安装有微波导波管(12、22)，并将介电体块(13、23)配设于腔室(1)内。使反射板(30)设于介电体块(13)与(23)之间，以阻止传播于介电体块(13、23)内的电磁波(微波)作为反射波而相互进入。藉此，独立控制等离子源(10、20)。又，于介电体块(13、23)的外周部配设有侧反射体(40)，以形成传播于介电体块(13、23)内的电磁波的驻波，并以大面积均匀地形成表面波SW的驻波模式。 | ||
| 申请公布号 | CN101099419A | 申请公布日期 | 2008.01.02 |
| 申请号 | CN200680001834.8 | 申请日期 | 2006.04.26 |
| 申请人 | 株式会社岛津制作所 | 发明人 | 铃木正康;猿渡哲也 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/31(2006.01) | 主分类号 | H05H1/46(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁 |
| 主权项 | 1.一种表面波激发等离子体处理装置，其特征在于具备有：两台或两台以上等离子源部，上述等离子源部，包括：微波产生部，其产生微波；微波导波管，其将来自上述微波产生部的微波导入，并于管内传播；槽孔天线，其为配置于上述微波导波管H面的具有设定形状的开口部；及介电体部件，其从上述微波导波管的槽孔天线导入微波并形成表面波，藉此生成表面波激发等离子体；以及反射板，设置于上述两个或两个以上被并列设置的各介电体部件的相邻侧面之间。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||