不受自动生成的虚设形状影响的电路元件功能匹配

摘要

本发明公开了控制在敏感电路元件(172)周围的虚设形状(200)的放置的方法、系统和程序产品，使得对于每个电路元件，虚设形状至少是相似的，尽管虚设形状是自动生成的。在一个实施例中，本发明包括向设计者提供虚设形状图案间距信息(XP，YP)，并且允许以一个或多个所述间距的整数倍来放置电路元件，使得在所述电路元件的每个实例周围，所述虚设形状至少是相似的。另一个实施例包括允许在电路元件(372)周围放置标记(300)，以指示其中虚设形状(306)将是相同的区域，然后使用所述标记来放置电路元件。对于所述电路元件的每个实例来说，在所述标记内生成的虚设形状确保了相同的虚设形状。本发明还包括所形成的集成电路。

主权项

1.一种形成集成电路的一部分的方法，所述方法包括以下步骤：提供虚设形状图案，所述虚设形状图案中的虚设形状之间具有X间距和Y间距；允许将多个基本相同的电路元件放置在衬底上，所述电路元件间隔所述X间距和所述Y间距中的至少一个间距的整数倍；以及生成所述电路元件和所述电路元件之间的所述虚设形状图案以提供与每个所述电路元件相邻的基本相似的虚设形状。