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发明名称
DIELECTRIC FILM FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号
KR100791197(B1)
申请公布日期
2008.01.02
申请号
KR20057011048
申请日期
2005.06.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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