发明名称 DIELECTRIC FILM FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 KR100791197(B1) 申请公布日期 2008.01.02
申请号 KR20057011048 申请日期 2005.06.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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