多级低损耗集成光功率分配器

摘要

本实用新型涉及集成光学技术领域。它提出了一种多级低损耗集成光功率分配器，采用硅基沉积二氧化硅光波导的加工技术和工艺制成，其带光栅的Y型光分路结构，可以灵活地组成不同分路比的光功率分配器，降低了光器件的插入损耗，提高了光信号的传送效率。该光器件不但结构灵活、紧凑，集成度高，体积小，重量轻，性能稳定可靠，而且适合大批量生产，生产效率高、成本低，可广泛地应用于光通信系统、光学仪器设备和光纤到户(FTTH)等应用场合。

主权项

1.一种多级低损耗集成光功率分配器，由硅基晶圆，衬垫，波导光芯以及覆盖包层构成，其特征在于：由沉积在硅基晶圆上折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫，波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导；以带阶梯光栅结构的Y型光分路器为基本单元，构成多级集成光功率分配器。