发明名称 Thermal expansion micro actuator, micro mirror formed directly on the same, micro mirror actuating apparatus using thermal expansion micro actuator, and light switch using the same
摘要
申请公布号 KR100789268(B1) 申请公布日期 2008.01.02
申请号 KR20060050413 申请日期 2006.06.05
申请人 发明人
分类号 G02B26/00;G02B26/08 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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