用于半导体材料处理系统的一体化机架

摘要

本发明涉及一种一体化脊柱构件，EFEM组件例如晶片操纵机械手和SMIF箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑EFEM组件的刚性体。该直立支柱还为校准EFEM组件提供一个公共的参照基准。这避免了需要相互地校准每个EFEM组件。因此，如果移除一个EFEM组件，将不会影响剩余EFEM组件的对齐和校准。该一体化机架还为SMIF箱门及进出口门生成一个隔离的存放区域，该SMIF箱门及进出口门位于与外部大气条件相隔离的环境中。

主权项

1.一种具有进出口门的半导体工具接口的机架，包括：至少两根细长支柱，每根所述细长支柱都具有顶部、底部、前表面及后表面；上支撑件，固定在所述每根细长支柱的顶部上；结构体，固定在所述每根细长支柱的底部上，所述结构体包括固定在所述每根细长支柱的前表面上的前安装表面和固定在所述每根细长支柱的后表面上的后安装表面，所述结构体提供了一由位于所述前、后安装表面和每对所述细长支柱之间的区域限定的存放区域，所述存放区域用于当所述进出口门位于最下部位置时存放该进出口门。