温度不敏感的阵列波导光栅的封装方法

摘要

本发明提供了一种温度不敏感的阵列波导光栅(AWG)的封装方法。AWG的中心波长由于温度变化而偏移。本发明描述了通过以下方式无源调节光输入位置而补偿中心波长的温度依存性的方法，即：切割AWG的输入平板波导(3)与连接至AWG芯片上的输入平板的条形波导电路(1)之间的界面，之后附接CTE(热膨胀系数)大于AWG芯片基板(6)的横向滑动杆(10)。使这些切割元件在对准底基板(7)的顶面上无源地重新对准。在该过程中，将AWG主体的切割元件(6b)牢固地附着在对准底基板(7)上，并将与输入平板相连的条形波导电路(1)的切割元件(6a)附接至横向滑动杆(10)，该杆能够在温度变化时移动位置。通过插入薄膜(8)之后填充不具有流动性质的填隙材料(9)而保持重新对准的两个切割元件(6a，6b)的刻面(12a，12b)之间的间隙(16)，从而使光学特性的劣化最小化并且保持这两个切割元件(6a，6b)之间的自由横向运动。

主权项

1、一种阵列波导光栅装置，该阵列波导光栅装置可补偿由温度变化引起的中心波长偏移，包括以下特征：具有两个切割元件，所述切割元件来自同一阵列波导光栅芯片，是通过切割与输入平板波导相连的条形波导电路与该输入平板波导之间的界面而得到的，并且形成在同一基板上；使所述两个切割元件在对准底基板的顶面上对准；附接横向滑动杆以在包含与所述输入平板波导相连的所述条形波导电路的所述切割元件与所述对准底基板之间进行连接；以及通过所述横向滑动杆的热膨胀和热收缩而使包含所述条形波导电路的所述切割元件的位置运动，从而补偿由于温度变化而引起的中心波长偏移。