发明名称 具有薄膜元件和薄膜图形的薄膜器件、及其制造方法
摘要 本发明涉及薄膜器件,该薄膜器件由形成在基板上的多个薄膜元件、覆盖这些薄膜元件而形成的透明绝缘膜、形成在该透明绝缘膜上的基底膜、及进而在其上形成的具有导电性的薄膜构成。上述基底膜由3层绝缘膜构成,该绝缘膜在上述透明绝缘膜的表面通过粘合、曝光、蚀刻来依次层叠具有感光性的干膜而形成。
申请公布号 CN101097914A 申请公布日期 2008.01.02
申请号 CN200710126371.4 申请日期 2007.06.29
申请人 卡西欧计算机株式会社 发明人 腰塚靖雄
分类号 H01L27/01(2006.01);H01L27/144(2006.01);H01L23/60(2006.01);H01L21/84(2006.01);G06K9/00(2006.01) 主分类号 H01L27/01(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 陈英俊
主权项 1.一种薄膜器件,其特征在于,包括:形成有薄膜元件的基板;基底膜,由至少一层绝缘膜构成,该绝缘膜配置在上述基板的薄膜元件的上侧,通过由感光性树脂材料构成的薄膜的粘合、曝光及蚀刻而形成为预定的形状;及薄膜图形,在上述基底膜上形成为预定的形状。
地址 日本东京都