发明名称 |
具有薄膜元件和薄膜图形的薄膜器件、及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及薄膜器件,该薄膜器件由形成在基板上的多个薄膜元件、覆盖这些薄膜元件而形成的透明绝缘膜、形成在该透明绝缘膜上的基底膜、及进而在其上形成的具有导电性的薄膜构成。上述基底膜由3层绝缘膜构成,该绝缘膜在上述透明绝缘膜的表面通过粘合、曝光、蚀刻来依次层叠具有感光性的干膜而形成。 |
申请公布号 |
CN101097914A |
申请公布日期 |
2008.01.02 |
申请号 |
CN200710126371.4 |
申请日期 |
2007.06.29 |
申请人 |
卡西欧计算机株式会社 |
发明人 |
腰塚靖雄 |
分类号 |
H01L27/01(2006.01);H01L27/144(2006.01);H01L23/60(2006.01);H01L21/84(2006.01);G06K9/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/01(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
陈英俊 |
主权项 |
1.一种薄膜器件,其特征在于,包括:形成有薄膜元件的基板;基底膜,由至少一层绝缘膜构成,该绝缘膜配置在上述基板的薄膜元件的上侧,通过由感光性树脂材料构成的薄膜的粘合、曝光及蚀刻而形成为预定的形状;及薄膜图形,在上述基底膜上形成为预定的形状。 |
地址 |
日本东京都 |