发明名称 存储单元构件及生产方法
摘要 本发明涉及存储单元阵列的存储单元构件,该阵列至少有一个铁磁体存储部件层(11),铁磁体存储部件层(11)分别与第一连接线(10)连接,第一连接线(10)布设于第一介质层(6)中,并且(11)分别与第二连接线(20,29,35)连接,第二连接线(20,29,35)布于第二介质层(17,27,32)中。
申请公布号 CN100359597C 申请公布日期 2008.01.02
申请号 CN01815044.6 申请日期 2001.08.28
申请人 印芬龙科技股份有限公司 发明人 斯特凡·米塔纳;西格弗里德·施瓦茨尔;安妮特·森格尔
分类号 G11C11/16(2006.01);G11C11/15(2006.01);G11C11/02(2006.01) 主分类号 G11C11/16(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚;李丙林
主权项 1.一种存储单元构件,包括:存储单元阵列,该阵列至少有一个磁阻存储部件层(11)和至少两个铁磁体层;每个铁磁体层均与第一连接线(10)连接,第一连接线(10)由铜制成并布设在第一介质层(6)中;每个铁磁体层均与第二连接线(20,29,35)连接,第二连接线用铜制成并布设在第二介质层(17,27,32)中;其特征在于,包裹存储部件(11)的氮化硅的扩散阻挡层(15,22,7,31)位于第一连接线(10)和第二介质层(17,27,32)之间;扩散阻挡层(15,22,7,31)阻止铜从第一连接线(10)向第二介质层(17,27,32)和磁阻存储部件(11)扩散;扩散阻挡层(15,22,7,31)阻止磁阻存储部件(11)的铁磁体层(11b,11d)与第一连接线(10)之间的相互扩散,以将存储漂移降至最低。
地址 德国慕尼黑