发明名称 |
软模用抗蚀剂和使用其制造液晶显示器的方法 |
摘要 |
本发明提供软模用抗蚀剂和使用其制造液晶显示器的方法。本发明提供用于软光刻的软模抗蚀剂、制造软模的方法、以及使用软模来制造液晶显示装置的方法,其中,所述软模包括亲水液态预聚物、光引发剂以及表面活性剂。通过将软模抗蚀剂涂覆到底板或模板并且将预定图案从模板转印到软模抗蚀剂,从而形成软模。通过将软模施加于覆盖在薄膜上的刻蚀抗蚀剂层、并且将预定图案转印到刻蚀抗蚀剂、接着使用该刻蚀抗蚀剂作为掩模对薄膜进行刻蚀,从而形成显示器。执行附加的工艺步骤,以形成液晶显示装置。 |
申请公布号 |
CN101097403A |
申请公布日期 |
2008.01.02 |
申请号 |
CN200710126891.5 |
申请日期 |
2007.06.29 |
申请人 |
LG.菲利浦LCD株式会社 |
发明人 |
南妍熙;金珍郁 |
分类号 |
G03F7/028(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/028(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
李辉 |
主权项 |
1、一种软模,该软模包括:96wt%或以上的亲水液态预聚物;大约1wt%到3wt%的光引发剂;以及大约0.01wt%到1wt%的表面活性剂。 |
地址 |
韩国首尔 |