| 发明名称 | 警报装置 | ||
| 摘要 | 提供一种根据产品的检查结果可自动地检测工厂异常的警报装置。警报装置(1)是检测工厂(102)中异常产生的装置。在工厂(102)中设置通过处理衬底来制造产品的制造装置(103)、检查装置(104)。警报装置(1)根据产品的制造过程中的衬底表面的检查结果，对按照各异常的种类设定的规定尺寸的各监视单位区域合计缺陷的产生程度，把各监视单位区域的缺陷的产生程度与基准比较，在检测到缺陷的产生程度比基准还高的监视单位区域时，发送警报，输出合计结果。 | ||
| 申请公布号 | CN101097842A | 申请公布日期 | 2008.01.02 |
| 申请号 | CN200710112264.6 | 申请日期 | 2007.06.29 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 浪冈保男 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 吴丽丽 |
| 主权项 | 1.一种警报装置，用对通过处理衬底来制造产品的工厂中的异常产生进行检测，该警报装置的特征在于：根据所述产品的制造过程中的所述衬底表面的检查结果，对按所述异常的每个种类设定的规定尺寸的每个监视单位区域的缺陷产生程度进行合计；把各所述监视单位区域中所述缺陷的产生程度与基准进行比较；在检测出所述缺陷的产生程度比所述基准还高的监视单位区域时，发送警报并输出所述合计结果。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||