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发明名称
Twisting-Type Bimetal Micro-Actuators for Large-Tilting-Angle Micromirrors
摘要
申请公布号
KR100789269(B1)
申请公布日期
2008.01.02
申请号
KR20060051208
申请日期
2006.06.08
申请人
发明人
分类号
B81B7/00
主分类号
B81B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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