发明名称 Twisting-Type Bimetal Micro-Actuators for Large-Tilting-Angle Micromirrors
摘要
申请公布号 KR100789269(B1) 申请公布日期 2008.01.02
申请号 KR20060051208 申请日期 2006.06.08
申请人 发明人
分类号 B81B7/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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