晶圆斜边检查机构

摘要

一种用来捕捉一晶圆边缘的斜面的影像之成像感测器（imaging sensor）于本文中被揭露。该成像感测器与一晶圆的边缘对准用以将被该成像感测器的视野的深度所围绕的区域最大化。一或多个感测器可被用来捕捉该晶圆边缘的影像。