反应式电浆清洗室

摘要

一种反应式电浆清洗室。此反应式电浆清洗室包含反应室、载座、一个以上的线圈和多个磁铁。其中载座位于反应室的底部之上，用以放置晶圆。线圈环绕于反应室之侧壁，与无线电频率源相接，用以游离通入反应室之气体，以产生电浆。这些磁铁位于反应室之侧壁，其所在位置的高度介于载座的高度与线圈的高度之间，用以避免电浆中之离子接触晶圆表面。