处理装置、处理方法及电浆源

摘要

本发明系一种处理装置、处理方法及电浆源，系一种可缩短前置期而在处理性能上能提供更具可靠性的处理装置及处理方法，主要具有处理室1、设置在处理室内保持被处理物2的保持装置3、向处理室内供给活性原子的活性原子供给装置4和向处理室内提供药液的药液供给装置5、对被处理物表面进行藉由活性原子供给装置供给活性原子来进行乾法处理、以及藉由药液供给装置所供给的药液来进行湿法处理者。