结晶性透明导电性薄膜、其制造方法、透明导电性膜以及触控面板

摘要

本发明之结晶性透明导电性薄膜，其以氧化铟锡为主成分，且相对于氧化铟与氧化锡之合计，氧化锡含有9重量％以下之比例；该结晶性透明导电性薄膜含有比例在0.45原子％以下之氮。本发明之结晶性透明导电性薄膜，具有高电阻值，且于高温、高湿度环境下之可靠度良好。