气体供给单元及气体供给系统

摘要

提供一种小型且低价的气体供给单元及气体供给系统，配设于作用气体输送管路上，复数个流体控制机器2～6、9经由流路块12～17连通而控制作用气体，该气体供给单元11A包括将复数个流体控制机器中的入口开闭阀4安装于其一侧面的第一流路块14，以及将复数个流体控制机器中的排气阀9安装于其一侧面的第二流路块17，该第─流路块14与该第二流路块17相对于作用气体搬运方向以垂直方向堆叠，入口开闭阀4与排气阀9系配设于设于作用气体搬运管路上的质量流量控制器5与安装气体供给单元11A的安装面之间。